2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

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[7a-C11-1~12] 17.1 カーボンナノチューブ,他のナノカーボン材料

2017年9月7日(木) 09:00 〜 12:15 C11 (事務室1)

片浦 弘道(産総研)、山本 貴博(東理大)

11:45 〜 12:00

[7a-C11-11] その場透過電子顕微鏡法による原子層カーボンナノ接合の観察

手面 学1、木塚 徳志1 (1.筑波大)

キーワード:その場TEM、ナノカーボン、ナノエレクトロニクス

単一分子などのナノ構造体を導入した電子回路は、シリコンテクノロジーに代わって究極的な電子回路の高集積化を実現する。特に、種々の原子層カーボンは、それぞれ固有の機能を示し、それらを生かしたデバイスへの応用が期待されている。何も堆積されていない金ナノチップを、別の金ナノチップ上に堆積された原子層カーボンと接触させ、原子層カーボンナノ接合を創製した。その後、この接合を引き離し、構造を制御した。この過程をその場で高分解能観察し、同時に、ナノ接合のコンダクタンスを2端子法によって測定した。また、光てこ法を用いて、ナノ接合に作用する力を同時に測定した。