[7a-C17-1~12] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[7a-C17-10] アモルファスZnO/V 添加ZnO/ZnO 積層膜の酸素雰囲気中での固相成長

〇志藤 健太¹、千葉 博^1,2、川島 知之¹、鷲尾 勝由¹ (1.東北大院工、2.学振特別研究員)

キーワード：酸化亜鉛、結晶成長、a面サファイア

a 面サファイア基板上に堆積した擬似アモルファスV 添加ZnO とZnO の積層膜
（pa-VZO/ZnO）の窒素雰囲気中熱処理による固相成長を報告した。本報告では、副相形成抑制
のためにpa-VZO/ZnO 積層膜上にZnO を堆積したpa-ZnO/pa-VZO/ZnO 積層膜の酸素雰囲気中で
の固相成長について検討した。