[7a-C17-1~12] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[7a-C17-3] ミストCVD法によるバッファ層上ZnO結晶薄膜の面内異方性

〇田中 雄大¹、田之上 博信¹、竹之内 真人¹、永岡 昭二^3,4、谷田部 然治^1,2、中村 有水^1,4 (1.熊大院自然科学、2.熊大院先導機構、3.熊本産技、4.くまもと有機薄膜)

キーワード：酸化亜鉛、ミストCVD