[7a-C17-1~12] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[7a-C17-4] アンモニアガス雰囲気中熱処理によるZnO薄膜への窒素添加

〇竹之内 真人¹、和田 祥平¹、田之上 博信¹、本郷 直哉¹、永岡 昭二^3,4、谷田部 然治^1,2、中村 有水^1,4 (1.熊大院自然科学、2.熊大院先導機構、3.熊本産業技術センター、4.くまもと有機薄膜センター)

キーワード：酸化亜鉛、ミスト化学気相成長法、窒素ドーピング