[7a-C23-1~10] 6.4 薄膜新材料

[7a-C23-5] 高温域におけるCr-Mn薄膜の大きなゲージ率

〇丹羽 英二¹ (1.電磁研)

キーワード：Cr-Mn薄膜、高温、ひずみセンサ

250～500℃の高温領域でより高いゲージ率（ひずみ感度）を示すひずみセンサ用材料の開発を目的として、Cr-Mn薄膜のゲージ率を調べた。その結果、その高温域においてCr-Mn薄膜のゲージ率は約6以上でピーク値が約12という大きな値を示すことがわかった。