[7a-C23-1~10] 6.4 薄膜新材料

[7a-C23-6] 反応性スパッタ法によるマンガン酸化物薄膜の作製とそのエレクトロクロミック特性

〇(M1)川浪 諒¹、阿部 良夫¹、川村 みどり¹、金 敬鎬¹、木場 隆之¹ (1.北見工大工)

キーワード：マンガン酸化物薄膜、反応性スパッタ、エレクトロクロミック

エレクトロクロミック（EC）現象とは、電気化学的な酸化還元により物質が可逆的な色変化を示す現象のことである。Mn酸化物は酸化着色型のEC材料であるが研究報告例は少ない。そこで、本研究では、反応性スパッタ法によりMn酸化物薄膜を作製し、基板温度を変化させ、膜構造、組成、EC特性を調べた。