[7a-C23-1~10] 6.4 Thin films and New materials

[7a-C23-9] Growth of titanium oxynitride by using pulsed-laser deposition

〇Jun Mizushiro¹, Tadahiko Inoue^2,3, Kohei Yoshimatsu¹, Naoki Ohashi^2,3,4, Akira Ohtomo^1,4 (1.Tokyo Tech., Dept. Chem. Sci. Eng., 2.NIMS, 3.IGSEC Kyushu Univ., 4.MCES)

Keywords:titanium oxynitride, photocatalyst

可視光応答型光触媒と太陽光を利用した光水分解による水素エネルギー生成への期待が高まっている。TiO₂は紫外領域でしか光吸収を示さないが、窒素をドープすることで可視光応答性を獲得することが知られている。窒素を高濃度にドープするには、固相の窒素源が有効と考えられている。そこで我々は、原料ターゲットにTiNを用いたパルスレーザ堆積法により、チタン酸窒化物薄膜を系統的に作製し、光学特性を評価したので報告する。