[7a-C23-1~10] 6.4 薄膜新材料

[7a-C23-9] パルスレーザ堆積法を用いたチタン酸窒化物薄膜の作製

〇水城 淳¹、井上 忠彦^2,3、吉松 公平¹、大橋 直樹^2,3,4、大友 明^1,4 (1.東工大物質理工、2.NIMS、3.九大総理工、4.東工大元素戦略)

キーワード：チタン酸窒化物、光触媒

可視光応答型光触媒と太陽光を利用した光水分解による水素エネルギー生成への期待が高まっている。TiO₂は紫外領域でしか光吸収を示さないが、窒素をドープすることで可視光応答性を獲得することが知られている。窒素を高濃度にドープするには、固相の窒素源が有効と考えられている。そこで我々は、原料ターゲットにTiNを用いたパルスレーザ堆積法により、チタン酸窒化物薄膜を系統的に作製し、光学特性を評価したので報告する。