[7a-PA5-1~22] 3.8 光計測技術・機器

[7a-PA5-1] 可視光OCTによる半導体光導波路の非破壊・非接触計測

〇石田 一将¹、尾崎 信彦¹、池田 直樹²、杉本 喜正² (1.和歌山大システム工、2.物材機構)

キーワード：光干渉断層系、半導体光導波路