[7a-PA5-1~22] 3.8 光計測技術・機器

[7a-PA5-11] 高抵抗NdF₃薄膜作製のためのパルスレーザー堆積法におけるレーザーパワー制御

〇(M2)山崎 亮¹、鈴木 健太郎¹、大谷 潤¹、小野 晋吾¹、加瀬 征彦² (1.名工大、2.ウシオ電機)

キーワード：センサ、フッ化物、真空紫外光