[7a-PA5-1~22] 3.8 光計測技術・機器

[7a-PA5-12] パルスレーザー堆積法によるLaF₃薄膜を用いた真空紫外検出器の開発

〇鈴木 健太郎¹、山崎 亮¹、大谷 潤¹、小野 晋吾¹、加瀬 征彦² (1.名工大、2.ウシオ電機)

キーワード：光センサ、真空紫外、フッ化物