[7a-PA6-1~14] 6.1 Ferroelectric thin films

[7a-PA6-13] Reliability evaluation of Pb(Zr,Ti)O₃ piezoelectric thin films

〇Yuya Kanamitsu¹, Goon Tan¹, Toshihito Umegaki¹, Hirotaka Hida¹, Isaku Kanno¹ (1.Kobe Univ.)

Keywords:piezoelectric, thin films, PZT

圧電MEMSデバイスの実用化において，圧電薄膜の長期信頼性の評価技術確立およびその向上が求められている．特にその耐電圧特性はアクチュエータ応用において重要な評価対象であり，その性質を考察することでその特性向上に対する指針が明らかにできる．本研究では，Si基板上に成膜したPZT圧電薄膜にDC電圧を印加し，絶縁破壊に至るまでの耐電圧および絶縁破壊時間を測定することにより，電気的信頼性に関する評価を行った．