[7a-PA6-1~14] 6.1 強誘電体薄膜

[7a-PA6-5] 高周波マグネトロンスパッタリング法を用いたペロブスカイト型ランタンチタン酸窒化物の製膜

〇井上 忠彦^1,2、村上 英司郎^1,2、井上 政貴^1,2、安達 裕²、大垣 武²、大橋 直樹^1,2,3 (1.九大総理工、2.物質・材料研、3.東工大元素戦略)

キーワード：ペロブスカイト型酸窒化物、ランタンチタン酸窒化物

本研究は次世代型の電子材料の開発に向け、ペロブスカイト型酸窒化物について研究を行った。具体的には、高周波マグネトロンスパッタ法と呼ばれる製膜技術を用いて，ランタンチタン酸化物（La₂Ti₂O₇）の焼結体とアルゴン／窒素混合ガス（Ar/N₂）を反応させることによって，ランタンチタン酸窒化物（LaTiO₂N）の薄膜結晶の合成を行った。特に、混合ガス中の窒素濃度（5～75%）が薄膜結晶の膜組成や膜構造に与える影響を調査した。