[7a-PB2-1~24] 12.3 機能材料・萌芽的デバイス

[7a-PB2-12] PVDFフィルム水素ガスセンサの検知特性に及ぼす湿度の影響

〇今井 裕司¹、但木 大介²、馬 騰³、木村 康男⁴、平野 愛弓^2,3、庭野 道夫^2,5 (1.仙台高専、2.東北大通研、3.東北大材料科学高等研究所、4.東京工科大、5.東北福祉大)

キーワード：水素ガスセンサ、ポリフッ化ビニリデン（PVDF）、パラジウム

我々が開発した圧電式水素ガスセンサは，水素吸収に伴うPd薄膜の体積膨張によりセンサ自身が歪み，その時の分極変化を電圧信号として取り出すことを検出原理としている。これまで，溶液塗布法で作製した多孔質構造を有するβ型PVDFフィルムを水素ガスセンサに用いることにより，安定した水素ガス検知特性が得られることがわかった。今回我々は，センサの検知特性に及ぼす湿度の影響について調査したので報告する。