[7a-PB3-1~9] 13.5 デバイス／集積化技術

△ [7a-PB3-9] チャージポンピングEDMR法を用いたシリコン酸化膜界面欠陥の検出

〇堀 匡寛¹、土屋 敏章¹、小野 行徳¹ (1.静大電研)

キーワード：チャージポンピング、EDMR、界面欠陥