[7a-S43-1~12] 11.4 Analog applications and their related technologies

[7a-S43-6] Fabrication of the 1k-pixel SSPD imaging array

〇Masahiro Yabuno¹, Shigeyuki Miyajima¹, Shigehito Miki^1,2, Taro Yamashita¹, Hirotaka Terai¹ (1.NICT, 2.Kobe Univ.)

Keywords:SSPD, imaging array

バイオイメージングやLIDAR技術への応用を念頭に、SSPDを多数配列したSSPDイメージングアレイの開発が注目されている。我々は読出配線数を大幅に削減可能なアレイ回路構造とSFQ回路による極低温信号処理技術を用いた1kピクセルSSPDイメージングアレイシステムの開発に取り組んでいる。今回、1kピクセルのSSPDイメージングアレイ素子を作製し、その超伝導特性について評価を行ったので報告する。