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[7a-S43-6] 1kピクセル SSPD イメージングアレイの作製
キーワード:超伝導ナノワイヤ単一光子検出器、イメージングアレイ
バイオイメージングやLIDAR技術への応用を念頭に、SSPDを多数配列したSSPDイメージングアレイの開発が注目されている。我々は読出配線数を大幅に削減可能なアレイ回路構造とSFQ回路による極低温信号処理技術を用いた1kピクセルSSPDイメージングアレイシステムの開発に取り組んでいる。今回、1kピクセルのSSPDイメージングアレイ素子を作製し、その超伝導特性について評価を行ったので報告する。