[7a-S44-1~9] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[7a-S44-5] 位置決めVLS成長InAsナノワイヤへの高濃度Sドーピング

〇河口 研一^1,2、高橋 剛^1,2、岡本 直哉^1,2、佐藤 優^1,2 (1.富士通、2.富士通研)

キーワード：InAsナノワイヤ、Sドーピング