[7a-S44-1~9] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[7a-S44-9] バイオテンプレート極限加工技術を用いたSi/SiGe_0.3ナノワイヤーの作製と熱伝導率の評価

〇菊池 亜紀応^2,4、八尾 章史⁴、山本 淳⁵、小野 崇人²、寒川 誠二^1,3 (1.東北大 流体研、2.東北大 院工、3.東北大 AIMR、4.セントラル硝子(株)、5.産業技術総合研究所)

キーワード：ナノワイヤー