[7p-A201-1~10] 転位研究の最前線 ～材料を越えた視点から見えてくるもの～

[7p-A201-5] 放射光X線トポグラフィによるアモノサーマルGaNの貫通転位観察

〇姚 永昭¹、石川 由加里¹、菅原 義弘¹、高橋 由美子²、平野 馨一² (1.JFCC、2.KEK)

キーワード：窒化ガリウム、X線トポグラフィ、アモノサーマル

放射光X線トポグラフィ（XRT）を用い、アモノサーマル法で成長させたGaN単結晶における貫通転位を観察した。複数の回折条件を利用することにより、転位のバーガースベクトル（b）を評価し、各種転位の割合や密度、分布情報を得た。