[7p-A203-1~19] 12.4 有機EL・トランジスタ

△ [7p-A203-14] 無版輪転印刷に適した光パターニング材料の創製と微細配線形成技術

〇川上 雄介¹ (1.株式会社ニコン)

キーワード：光応答性材料、プリンテッドエレクトロニクス

従来の微細配線形成に用いられる真空成膜・フォトリソなどのSubtractive 型生産技術や、印刷などのAdditive型技術が抱える課題を解決するべく、新規な光アシスト印刷法による配線描画法を提案する。開発した光応答性材料は数nm の薄膜においても所望のパターニング性能を発現しレジストを用いることなく無版の輪転印刷法により微細な金属配線形成（L/S=5/5um）が可能となった。