[7p-A204-1~14] 【CS.7】6.1 強誘電体薄膜,13.3 絶縁膜技術,13.5 デバイス／集積化技術のコードシェアセッション

[7p-A204-7] 強誘電性HfO₂薄膜におけるナノスケール分極反転ドット書き込み

〇平永 良臣¹、三村 和仙²、清水 荘雄²、舟窪 浩²、長 康雄¹ (1.東北大、2.東工大)

キーワード：強誘電体プローブデータストレージ、強誘電性HfO2薄膜、走査型非線形誘電率顕微鏡