[7p-A405-1~21] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

[7p-A405-15] Alを用いた金属-誘電体多層膜系でのFano共鳴

〇藤原 裕大¹、Kang ByungJun¹、藤井 稔¹、林 真至¹ (1.神戸大院工)

キーワード：Fano共鳴、プラズモン、多層膜

近年、センサーや発光強度の改善に向け、プラズモニックナノ構造によるFano共鳴が注目を集めている。しかしナノ構造の形成は複雑なプロセスを要し、応用上問題となる。そこで本グループは金属-誘電体多層膜系に着目した。この系では、連続モードである表面プラズモンポラリトン(SPP) modeと離散モードであるPlanar waveguide (PWG) modeが結合しFano共鳴が起こる。本研究では、Al薄膜上に無機誘電体多層膜を堆積させた系でFano line shapeとQ値について評価を行った。