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△ [7p-A405-17] 基板エッチングによるプラズモン共鳴波長の短波長化と屈折率センシングの高感度化
キーワード:プラズモニクス、メタマテリアル
本研究では、基板エッチングによるプラズモン共鳴波長の短波長化と屈折率センシングの高感度化について報告する。基板上に集積化された金属ナノ構造のプラズモン波長は、基板の屈折率の影響で真空中におかれた時に比べて長波長化してしまう。本研究では、構造の下にある基板を選択的エッチングによって削りとることで、基板の影響による長波長化を低減する手法を提案する。また、屈折率センシングへの応用についても報告する。