[7p-A411-1~17] 1.5 Instrumentation, measurement and Metrology

[7p-A411-4] Development of TDLAS-based dew point hygrometer

〇Shinichi Honda¹, Kenichi Sugimura¹, Kenichi Itabashi¹, Koji Hashiguchi², Hisashi Abe² (1.Shinyei Technology, 2.NMIJ/AIST)

Keywords:Moisture Measurement, Absorption spectroscopy, Laser

低湿度領域でも精度・応答性の高い計測を行うために、本研究では波長可変半導体レーザー分光法(Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy, TDLAS)を用いた計測器(TDLAS露点計)の開発を行っている。内容積の小さなガスセルを採用し、ガス置換に要する時間を短縮することで、応答性を高めることを目指した。その結果、露点0 ℃から-50 ℃の変化を約6秒(90 %応答時間)で検出することに成功した。国際単位系(SI)にトレーサブルな湿度標準との比較によって、1年間の長期安定性の評価を行ったところ、露点-50 ℃～-10 ℃の範囲においては、鏡面冷却式露点計と同等となる約0.1 ℃の長期安定性が得られた。