[7p-A411-1~17] 1.5 Instrumentation, measurement and Metrology

[7p-A411-5] Measurement of trace moisture in Ar/N₂ gas mixture with Cavity Ring-Down Spectroscopy

〇MINAMI AMANO¹, HISASHI ABE¹ (1.AIST/NMIJ)

Keywords:humidity, trace moisture, semiconductor

半導体材料ガス中に不純物として含まれる微量水分の高精度計測を目指し、多種ガス用微量水分発生装置の開発、およびこれを用いたガス中微量水分の一次標準の開発を行っている。本装置では、最終的に発生させたガスの中に少量の窒素が混入することが課題となる。本研究では、ターゲットガスをアルゴンとし、発生させたアルゴン中微量水分に混入する窒素が、被校正器物として接続したCRDS(キャビティリングダウン分光法)微量水分計の指示値に与える影響を評価する。