[7p-A412-1~12] 6.2 カーボン系薄膜

[7p-A412-2] ヘキサンとN₂の混合気体マイクロ波放電を用いて作製した高窒素含有a-CN_x:H膜の結合状態解析

〇伊藤 治彦¹、平松 拳也¹、董 福¹、斎藤 秀俊¹ (1.長岡技科大工)

キーワード：アモルファス窒化炭素