[7p-A412-1~12] 6.2 Carbon-based thin films

△ [7p-A412-9] Overcoating of Various DLC Films on Diamond Coating Tools

〇Satoshi Degai¹, Yushi Iijima¹, Toru Harigai¹, Tsuyoshi Tanimoto¹, Yoshiyuki Suda¹, Hirofumi Takikawa¹, Hidenobu Gonda², Masao Kamiya³, Makoto Taki⁴ (1.Toyohashi Univ. Technol., 2.OSG Co., Ltd., 3.Itoh Opt. Ind. Co., Ltd., 4.Onward Ceram. Coat. Co., Ltd.)

Keywords:DLC, diamond, tool

CFRPは高品質な加工が困難な難削材である。CFRP加工に使用されるダイヤコーティング工具にDLC膜をオーバーコートすることで切削性能の向上が期待できる。本研究では形状・用途の異なる4種類の工具に膜質の異なる4種類のDLC膜を成膜し，表面観察を行った。ラマン分光分析と走査型電子顕微鏡（SEM）による観察を行った。ラマン分光分析では膜種によってスペクトルに違いが見られた。