[7p-A412-1~12] 6.2 カーボン系薄膜

△ [7p-A412-9] ダイヤコーティング工具への各種DLC膜のオーバーコート

〇出貝 敏¹、飯島 佑史¹、針谷 達¹、谷本 壮¹、須田 善行¹、滝川 浩史¹、権田 英修²、神谷 雅男³、瀧 真⁴ (1.豊橋技科大、2.オーエスジー、3.伊藤光学工業、4.オンワード技研)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン、ダイヤモンド、工具

CFRPは高品質な加工が困難な難削材である。CFRP加工に使用されるダイヤコーティング工具にDLC膜をオーバーコートすることで切削性能の向上が期待できる。本研究では形状・用途の異なる4種類の工具に膜質の異なる4種類のDLC膜を成膜し，表面観察を行った。ラマン分光分析と走査型電子顕微鏡（SEM）による観察を行った。ラマン分光分析では膜種によってスペクトルに違いが見られた。