[7p-A413-1~9] 8.1 Plasma production and control

△ [7p-A413-7] Discharge properties of the nonequilibrium atmospheric pressure plasma source

〇(M1)Kaede Katsuno¹, Kenji Ishikawa¹, Takayoshi Tsutsumi¹, Keigo Takeda¹, Hiroshi Hashizume¹, Hiromasa Tanaka¹, Hiroki Kondo¹, Makoto Sekine¹, Masaru Hori¹ (1.Nagoya Univ.)

Keywords:Plasma

非平衡大気圧プラズマ源の側壁材料を変えた時に高電圧印加すると電極周囲の電界分布が変わる。そこで側壁材料の誘電率に着目して、プラズマへの影響を調べた。側壁の誘電率を変化させることでプラズマの形状に違いがあり、誘電率が低いほど空間電離が見られたが、誘電率が高い時はストリーム的なプラズマコラムが見られた。