[7p-A413-1~9] 8.1 Plasma production and control

[7p-A413-9] High Power Nitrogen-Boosted Atmospheric Pressure Thermal-Plasma-Jet

〇Hiroaki Hanafusa¹, Ryosuke Nakashima¹, Seiichiro Higashi¹ (1.Hiroshima Univ.)

Keywords:Atmospheric-pressure Thermal plasma, Nitrogen boost

我々はこれまでに薄膜Siの溶融結晶化やSiC中の不純物活性化など大気圧熱プラズマジェット(TPJ)を用いた様々な高速および高温の熱処理研究に取り組んできた。さらなる高速高温熱処理領域を開拓するため、プラズマ励起ガスのArに窒素を添加することでTPJの高出力化を試みた。その結果、大幅な熱伝達効率の上昇を実現し、パワー密度125 kW/cm²を達成した。