[7p-A502-1~6] 萌芽的デバイスとしての有機センサー -IoT時代に向けて-

[7p-A502-2] リアルタイムセンシングを目指した超高速容量式湿度センサ

〇伊東 栄次¹ (1.信大工)

キーワード：容量式湿度センサ、カーボンナノチューブ、ハイブリッド材料

カーボンナノチューブガス透過電極とフッ素化ポリイミドを組み合わせた高速で高感度な容量式湿度センサと10msオーダーで湿度制御と容量計測を行うための高速制御・計測システムの開発を通して，数10msの超高速応答と優れた温度安定性や湿度に対する線形応答を示す湿度センサを中心に講演する。高速・安定動作を目指した湿度センサや高感度応答や手軽に使えるナノ材料を用いた塗布型ハイブリッドセンサについても紹介する。