[7p-C11-1~21] 17.3 Layered materials

[7p-C11-1] [JSAP Young Scientist Award Speech] Growth of uniform multilayer h-BN on alloy catalyst for 2D heterostructure devices

〇Yuki Uchida¹, Sho Nakandakari¹, Kenji Kawahara², Shigeto Yamasaki¹, Masatoshi Mitsuhara¹, Hiroki Ago^1,2 (1.Kyushu Univ., 2.Kyushu Univ. GIC)

Keywords:layered materials, 2D materials, chemical vapor deposition

多層h-BNは二次元材料のポテンシャルを引き出す理想的な絶縁層として大きな期待を集めている。h-BNを大面積に合成する方法として、金属触媒を用いた熱CVD法が注目されている。これまで触媒としてCuやFeなどが使用されているが、成長したh-BNの厚さや結晶性は不均一であった。我々は合金触媒を使用することで、均一性が高い多層h-BNの大面積合成を可能にしつつある。さらに多層h-BN上に成長したWS₂では、光学特性の大幅な向上が確認された。