[7p-C11-1~21] 17.3 層状物質

[7p-C11-1] [講演奨励賞受賞記念講演] 二次元積層デバイス応用に向けた合金触媒による多層h-BNの均一成長

〇内田 勇気¹、仲村渠 翔¹、河原 憲治²、山崎 重人¹、光原 昌寿¹、吾郷 浩樹^1,2 (1.九大院総理工、2.九大GIC)

キーワード：層状物質、二次元材料、化学気相成長

多層h-BNは二次元材料のポテンシャルを引き出す理想的な絶縁層として大きな期待を集めている。h-BNを大面積に合成する方法として、金属触媒を用いた熱CVD法が注目されている。これまで触媒としてCuやFeなどが使用されているが、成長したh-BNの厚さや結晶性は不均一であった。我々は合金触媒を使用することで、均一性が高い多層h-BNの大面積合成を可能にしつつある。さらに多層h-BN上に成長したWS₂では、光学特性の大幅な向上が確認された。