[7p-C11-1~21] 17.3 層状物質

[7p-C11-4] MoS₂ターゲット高温スパッタ法のロングスロー化によるMoS₂膜結晶性向上

〇坂本 拓朗¹、大橋 匠¹、宗田 伊理也¹、角嶋 邦之¹、筒井 一生¹、若林 整¹ (1.東工大)

キーワード：二硫化モリブデン、スパッタリング、ロングスロー