[7p-C16-1~18] 17.2 グラフェン

[7p-C16-18] ロックイン発熱解析法による大面積グラフェンシートの局所欠陥評価

〇中島 秀朗¹、森本 崇宏¹、生田 美植¹、沖川 侑揮¹、山田 貴壽¹、河原 憲治²、吾郷 浩樹²、岡崎 俊也¹ (1.産総研、2.九大グローバルイノベーションセンター)

キーワード：グラフェン、欠陥構造、ロックインサーマル

CVD法グラフェンは大面積での合成が可能である一方、様々な欠陥構造の介入により膜自体の電気伝導特性が大きく劣化してしまう。本講演では、ロックイン発熱解析という高精度イメージング技術により大面積グラフェンシートに介在するこれら局所欠陥の可視化を例証する。この結果は、計測範囲・計測時間の観点で従来の評価技術を大きく発展させ得るものであり、CVDグラフェン膜の高品質化に向けた重要な成果である。