2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料

[7p-C23-1~22] 6.4 薄膜新材料

2017年9月7日(木) 13:45 〜 19:30 C23 (C23)

土屋 哲男(産総研)、室谷 裕志(東海大)

17:30 〜 17:45

[7p-C23-15] 液体低温プロセス酸化物TFTを用いたリングオシレータの作製

乾 京介1、芳本 祐樹1、李 金望1、下田 達也1 (1.北陸先端大)

キーワード:液体プロセス、酸化物TFT、リングオシレータ