[7p-C23-1~22] 6.4 Thin films and New materials

[7p-C23-16] Synthesis of Yttria Stabilized Zirconia Films Using Metal-EDTA Complex

〇Yohei Nakamura¹, Atsushi Nakamura^1,2, Keiji Komatsu¹, Hidetoshi Saitoh¹ (1.Nagaoka Univ. Tech., 2.Chubu Chelest Co., Ltd.)

Keywords:Solid Oxide Fuel Cell, Yttria Stabilized Zirconia

イットリア安定化ジルコニア（YSZ）は高いイオン導電性から、固体酸化物形燃料電池(SOFC)の電解質として注目されている。電解質膜はイオン導電性のために組成設計と水素リークを防ぐために緻密膜が求められる。物理気相析出(PVD)法では組成設計に難があり、スクリーン印刷法では膜厚によりイオン導電性が損なわれる。そこで、蒸気圧が低いエチレンジアミン四酢酸(EDTA)を原料として、塗布法と大気焼成を用いた方法でYSZ薄膜合成を試みた。