[7p-C23-1~22] 6.4 薄膜新材料

[7p-C23-4] 溶液法によるインジウム酸化物およびインジウム亜鉛酸化物の低温形成

〇芳本 祐樹¹、李 金望¹、下田 達也¹ (1.北陸先端科学技術大学院大学)

キーワード：液相プロセス、機能性酸化物材料、低温形成

我々はこれまで液相プロセスにおける液体～固体変換過程の中間体であるゲルに注目し、ゲルに対する紫外線照射が固体化において有効な手段であることを見出した。本研究ではこの紫外線照射を熱処理と同時に行うUV照射アニールによって焼成効果を高めることで機能性酸化物薄膜の低温形成を試みた。また、低温形成に最適化した溶液設計を行い、高性能な半導体特性を有する機能性酸化物薄膜を200℃で形成した。