[7p-C24-1~20] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[7p-C24-14] P-Ge,Al-Ge 共添加シリカガラスにおける欠陥抑制効果

〇(M1)横瀬 啓¹、関谷 エジソン晴彦¹、斉藤 和也¹ (1.豊田工大)

キーワード：Ge共添加、シリカガラス

シリカガラスにおいて、活性元素のクラスタリング抑制のために、AlやPの共添加が行われるが、AlやPに由来する光誘起欠陥の吸収が活性元素の励起波長域や発振波長域に影響することが知られている。今回、Ge共添加によって前述の光誘起欠陥の抑制効果があることが分かったため報告する。