[7p-PA1-1~11] 3.11 Photonic structures and phenomena

[7p-PA1-11] Statistical evaluation of ultra high-Q Si photonic crystal nanocavities

〇Kengo Tanaka¹, Takashi Asano¹, Yasushi Takahashi², Susumu Noda¹ (1.Kyoto Univ., 2.Osaka Pref. Univ.)

Keywords:photonic crystal, nanocavity, Q-factor

我々はSiスラブを用いた2次元フォトニック結晶ナノ共振器の高Q値化に取り組んでおり，表面酸化膜除去を行うことでQ値1100万という世界最高の実験値を達成している．今回は酸化膜除去後のQ値の変化を長期間にわたって測定し，また多数の共振器の測定を行ってQ値および波長を統計的に評価したので報告する．