[7p-PA1-1~11] 3.11 フォトニック構造・現象

[7p-PA1-11] 超高Q値Siフォトニック結晶ナノ共振器の統計評価

〇田中 建悟¹、浅野 卓¹、高橋 和²、野田 進¹ (1.京大院工、2.大阪府大院工)

キーワード：フォトニック結晶、ナノ共振器、Q値

我々はSiスラブを用いた2次元フォトニック結晶ナノ共振器の高Q値化に取り組んでおり，表面酸化膜除去を行うことでQ値1100万という世界最高の実験値を達成している．今回は酸化膜除去後のQ値の変化を長期間にわたって測定し，また多数の共振器の測定を行ってQ値および波長を統計的に評価したので報告する．