[7p-PA1-1~11] 3.11 Photonic structures and phenomena

△ [7p-PA1-2] Fabrication of 3D Photonic Crystals by Batched Wafer Bonding Process of Multiple Layer

〇Keisuke Kitano^1,2, Kenji Ishizaki¹, Susumu Noda¹ (1.Kyoto Univ., 2.JSPS Research Fellow)

Keywords:Photonic Crystal

我々は，ストライプ積層型3次元フォトニック結晶について，より多層の構造を簡便に形成する手法として，大面積の基板に複数の2次元を配置し，2次元構造の位置を合わせた一括ウエハ融着工程と，分割工程を繰り返すことによる，少ない工程数での3次元フォトニック結晶の形成法の開発を行ってきた．今回，本手法を，4層以上の多層構造へ適用し，導入する光デバイスが多層となった場合においても有効であることを示した．