[7p-PA1-1~11] 3.11 フォトニック構造・現象

△ [7p-PA1-2] 複数層一括融着による3次元フォトニック結晶作製

〇北野 圭輔^1,2、石崎 賢司¹、野田 進¹ (1.京大院工、2.学振特別研究員)

キーワード：フォトニック結晶

我々は，ストライプ積層型3次元フォトニック結晶について，より多層の構造を簡便に形成する手法として，大面積の基板に複数の2次元を配置し，2次元構造の位置を合わせた一括ウエハ融着工程と，分割工程を繰り返すことによる，少ない工程数での3次元フォトニック結晶の形成法の開発を行ってきた．今回，本手法を，4層以上の多層構造へ適用し，導入する光デバイスが多層となった場合においても有効であることを示した．