[7p-PA1-1~11] 3.11 Photonic structures and phenomena

[7p-PA1-7] Investigation of in-plane uniformity for realizing large-area photonic crystal lasers

〇Shin Fukuhara¹, Menaka De Zoysa¹, Masahiro Yoshida¹, Wataru Kunishi², Kenji Ishizaki¹, Masato Kawasaki³, Ranko Hatsuda¹, Yoshinori Tanaka¹, Susumu Noda¹ (1.Kyoto Univ., 2.ROHM Semiconductor, 3.Mitsubishi Electric)

Keywords:photonic crystal, laser, in-plane uniformity

フォトニック結晶レーザ(PCSEL)は，活性層近傍に設けた2次元フォトニック結晶におけるバンド端共振効果を活用した大面積コヒーレント半導体レーザである．大面積コヒーレント動作において，フォトニック結晶の面内均一性が重要となる．今回，微小領域で局所的にレーザ発振する複数のPCSELをアレイ化・同時駆動し，発振波長分布を測定することで，面内均一性を評価したので報告する．