[7p-PA1-1~11] 3.11 フォトニック構造・現象

[7p-PA1-7] 大面積フォトニック結晶レーザのための面内均一性の評価

〇福原 真¹、De Zoysa Menaka¹、吉田 昌宏¹、國師 渡²、石崎 賢司¹、河崎 正人³、初田 蘭子¹、田中 良典¹、野田 進¹ (1.京大院工、2.ローム基礎研究開発部、3.三菱電機先端総研)

キーワード：フォトニック結晶、レーザ、面内均一性

フォトニック結晶レーザ(PCSEL)は，活性層近傍に設けた2次元フォトニック結晶におけるバンド端共振効果を活用した大面積コヒーレント半導体レーザである．大面積コヒーレント動作において，フォトニック結晶の面内均一性が重要となる．今回，微小領域で局所的にレーザ発振する複数のPCSELをアレイ化・同時駆動し，発振波長分布を測定することで，面内均一性を評価したので報告する．