[7p-PA10-1~5] 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」（ポスター）

[7p-PA10-1] ACカロリメトリ法による熱拡散率測定における試料サイズ効果

〇(M1)太田 裕也^1,2、山下 尚見¹、マニ ナヴァニーザン¹、猪川 洋^1,2、下村 勝²、村上 健司²、渡邉 孝信³、池田 浩也^1,2 (1.静大電研、2.静大院工、3.早大理工)

キーワード：熱拡散率測定、窒化アルミニウム、ACカロリメトリ法

我々は、様々な薄膜材料の熱拡散率を測定するために、ACカロリメトリ法にサーモグラフィカメラを組み入れた熱拡散率測定技術を構築している。測定する試料のサイズが、得られる熱拡散率にどのような影響を及ぼすかを確認するために、幅10mmと75mmの試料サイズの異なるAlNを用いて熱拡散率を測定した。幅10mmと75mmの試料の熱拡散率はそれぞれ1.3×10^-4m²/sと7.0×10^-5m²/sであった。このことから、試料端での熱反射や熱放射の影響が考えられる。