[7p-PA2-1~14] 3.15 シリコンフォトニクス

[7p-PA2-11] Si/CaF₂量子カスケードレーザの導波路構造作製と評価

〇近藤 弘規¹、齋藤 侑祐¹、渡辺 正裕¹ (1.東工大工学院)

キーワード：導波路、半導体プロセス、導波路損失