[7p-PA2-1~14] 3.15 シリコンフォトニクス

[7p-PA2-12] Si(111)基板上 CaGe₂F_X 膜のエピタキシャル成長

〇安武 裕輔¹、深津 晋¹ (1.東大院総合)

キーワード：ゲルマニウム、エピタキシャル、ジントル相