[7p-PA2-1~14] 3.15 シリコンフォトニクス

△ [7p-PA2-14] 有機金属分解法およびスパッタ法によるシリコン基板上へのセリウム置換型イットリウム鉄ガーネットの製膜

〇(M1)野口 道臣¹、庄司 雄哉¹、水本 哲也¹ (1.東工大)

キーワード：セリウム置換型イットリウム鉄ガーネット、有機金属分解法

本研究ではセリウム置換型イットリウム鉄ガーネット（(CeY)₃Fe5O₁₂：Ce:YIG）を、小型光集積回路プラットフォームとして用いられるシリコン基板上に直接堆積法で製膜することを検討した。結晶性の向上を期待して、下地層としてYIG（Y₃Fe₅O₁₂）を有機金属分解法（Metal Organic Decomposition：MOD法）で形成し、その上にスパッタ法でCe:YIG多結晶を製作した。波長1550nmで測定を行ったところ、薄膜の超磁性を確認でき、ファラデー回転係数は単結晶の62%に相当する－2800deg/cmと見積もられた。